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基礎(chǔ)信息Product information
產(chǎn)品名稱:

半導(dǎo)體封裝材料探針臺/兼容顯微鏡微調(diào)移動

產(chǎn)品型號:Huace-6

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

所在地:北京市

更新日期:2024-10-10

產(chǎn)品簡介:

半導(dǎo)體封裝材料探針臺/兼容顯微鏡微調(diào)移動,中端探針臺可兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動 ;可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用

產(chǎn)品特性Product characteristics
品牌華測

中端探針臺


產(chǎn)品簡介:

探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準(zhǔn)扎到被測點(diǎn),從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通,通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用:

◆ 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等;

◆ 可用于8英寸以內(nèi)樣品測試;

◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu),線性移動;

◆ 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動;

◆ 可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用;

技術(shù)參數(shù)

臺體規(guī)格

尺寸

4英寸/6英寸/8英寸

水平旋轉(zhuǎn)

可360°旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程

4英寸×4英寸/6英寸×6英寸

X-Y移動精度

10μm/1μm

樣品臺Z軸調(diào)節(jié)

可升降10mm

樣品固定

真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)

針座平臺

U型針座平臺,zuiduo可放置6個(gè)探針座

背電極測試

樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極

外形尺寸

400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高

設(shè)備重量

約20KG


光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動行程

X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器

X-Y-Z移動行程

12mm*12mm*12mm

移動精度

10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

吸附方式

磁力吸附,真空吸附

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑

0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

針尖材質(zhì)

鎢鋼;鈹銅

可選附件:

加熱臺;
顯示器;
轉(zhuǎn)接頭;
射頻測試配件;

屏蔽箱;

光學(xué)平臺;
鍍金卡盤;
光電測試配件;

高壓測試配件;

顯微鏡快速傾仰裝置;

激光系統(tǒng);

探針卡夾具;

探針臺可根據(jù)客戶要求定制


Huace-6 中端探針臺




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